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水浸超聲顯微鏡主要用于對材料內部缺陷進行無損檢測

更新時間:2025-06-11      點擊次數:335
  水浸超聲顯微鏡 (SAM)是一種利用超聲波在液體中傳播的特性,對材料內部結構進行高分辨率成像的無損檢測設備‌。它廣泛應用于需要無損檢測、內部缺陷分析或微觀結構觀察的場景,特別是在半導體與電子行業、材料科學與研發、汽車與航空航天制造等領域有著重要的應用‌。
 
  水浸超聲顯微鏡通過超聲探頭發射超聲波束,經過液體耦合介質(通常為水)抵達工件上表面,形成上表面反射波。超聲波束穿過工件時,遇到材料內部的缺陷(如裂紋、縫隙、空洞等)會形成不同的反射波與折射波。通過收集這些波并進行分析,可以得到材料內部的超聲強度圖像,從而準確判斷缺陷的位置、面積和占比等數據‌。
 
  水浸超聲顯微鏡的主要配置包括工業電腦、采集分析軟件、超聲換能器(探頭)、工控機、水循環系統、不銹鋼框架結構及運動模組等。其中,超聲換能器是決定超聲波頻率的關鍵器件,其頻率范圍一般在10MHZ至2000MHZ之間。
 
  應用場景
 
  ‌半導體與電子行業‌:用于芯片封裝檢測、晶圓檢測和電子元器件失效分析。例如,檢測芯片與基板間的焊接質量、晶圓鍵合質量評估、電容、電阻等被動元件的內部裂紋檢測等‌。
 
  ‌材料科學與研發‌:用于復合材料檢測、金屬與合金檢測以及納米材料與薄膜分析。例如,檢測碳纖維增強聚合物的分層、金屬焊接接頭的內部缺陷、納米涂層厚度測量等‌。
 
  ‌汽車與航空航天制造‌:用于汽車零部件檢測和航空航天結構件檢測。例如,檢測發動機缸體/缸蓋的鑄造缺陷、飛機渦輪葉片的冷卻孔堵塞、復合材料機翼的沖擊損傷等‌。
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